激光显微镜

OLS4500 纳米检测显微镜

OLS4500 米检测显微镜

OLS4500是结合了传统光学显微镜、激光扫描显微镜(LSM)以及探针扫描显微镜(SPM)功能的一体机,可以满足不同样品的观测需求,是一台新时代的观察、测量装置。

 可以轻松实现从毫米到纳米的观察和测量,放大倍率由几十倍到高达百万倍;可以在光学显微镜模式、激光显微镜模式和探针显微镜模式之间自由切换,而不用担心目标丢失。并且可以使用探针显微镜迅速而正确的完成观察,大大缩短了获取影像的时间;

OLS4500采用了光杠杆法——通过高灵敏度检测出最前端装有探针的微悬臂的微小弯曲量(位移)来进行观测的方法。在悬臂的背面反射激光,并用压电元件驱动Z轴,使激光照射到光电检测器的指定位置,从而正确读取Z方向的微小位移。OLS4500配有:接触模式,动态模式,相位模式,电流模式,表面电位模式(KFM),磁力模式(MFM)。

 应用领域:SPM技术LEXT OLS4100功能的组合意味着可以用很大范围的放大倍率来进行观察和测量从几十倍到100万倍。可以将该显微镜用于3D测量,从微米范围里相对比较大的样本到纳米尺寸的样本。具有截面形状分析(曲率测量、夹角测量);粗糙度分析;形态分析(面积、表面积、体积、高度、柱状值、承载比);评价高度测量(指定线、指定面积);粒子分析等功能;应用产品包括MEMS(微电子机械系统)、半导体、晶体、液晶、金属材料、陶瓷、化学材料等,如TiO单结晶电路板,高分子薄膜,铝合金阳极氧化膜,硬度计压痕、DVD表面等。


  奥林巴斯激光共焦显微镜采用了高级光学系统,可通过非破坏观察法生成高画质的图像并进行精确的3D测量。其准备操作也非常简单且无需对样本进行预先处理。

主体规格

LSM部分

光源、检出系统

光源:405nm半导体激光,检出系统:光电倍增管

总倍率

10817280X

变焦

光学变焦:18X

测量

平面测量

重复性

100x3σn-1=0.02μm50x3σn-1=0。04μm20x3σn-1=0.1μm

正确性

测量值的±2%以内

高度测量

方式

物镜转换器上下驱动方式

行程

10mm

内置比例尺

0.8nm

移动分辨率

10nm

显示分辨率

1nm

重复性

100xσn-1=0.012μm50xσn-1=0。012μm20xσn-1=0.04μm

正确性

0。2+L/100μm以下(L=测量长度)

彩色观察部分

光源、检出系统

光源:白色LED,检出系统:1/1。8英寸200万像素单片CCD

变焦

数码变焦:18X

物镜转换器

6孔电动物镜转化器

微分干涉单元

微分干涉滑片:U-DICR、内置偏振光片单元

物镜

明视场平面半消色差透镜5X LEXT专用平面复消色差透镜20X50X100X

Z对焦部分行程

76mm

XY载物台

100×100mm(电动载物台)

SPM部分

运行模式

接触模式、动态模式、相位模式、电流模式﹡、表面电位模式(KFM)﹡、磁力模式(MFM)﹡

位移检出系统

光扛杆法

光源

659nm半导体激光

检出设备

光电检测器

最大扫描范围

XY:最大30μ30μm、Z:最大4。6μm

安装微悬臂

在盒式微悬臂支架上一键安装。使用微悬臂安装位置调整专用工装夹具预对位,更换支架时无需光学调整。

 

物镜规格

型号

倍率

视场

工作距离(W.D.

数值孔径(N.A.

MPLFLN5X

108~864X

2560~320μm

20.0mm

0。15

MPLAPON20XLEXT

432~3456X

640~80μm

1.0mm

0。60

MPLAPON50XLEXT

1080~8640X

256~32μm

0。35mm

0。95

MPLAPON100XLEXT

2160~817280X

128~16μm

0.35mm

0.95

应用实例

 


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