MX63/MX63L半导体FPD/wafer检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法（DIC）、荧光法、红外线法和深紫外线法，保证了卓越的图像分辨率和鲜明度。
· 考虑了检查效率的设计
· 鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系
· 软件方案
· 支持缺陷检测的多种功能
· 帮助实现多种观察的附件
半导体FPD /wafer检查显微镜规格 | MX63L | MX63 | |||
光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正） | ||||
机身 | 观察方法 | 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光/红外/MIX观察（4个定向暗场） | |||
反射/透射 | 反射/透射 | ||||
照明装置 | 机身一体型（明视场，暗视场＋1选件） | ||||
照明系统 | 反射照明 | 白光LED/100 W卤素/100 W汞灯 | |||
透射照明 | 纤维光导 | ||||
对焦单元 | 电动/手动 | 手动 | |||
行程 | 32 mm | ||||
分辨率/微调灵敏度 | 微调旋钮转动1周移动0.1 mm | ||||
最大样本高度 | 30 mm | ||||
物镜转换器 | 电动型 | 明视场微分干涉6孔 | |||
明暗视场微分干涉5孔 | |||||
明暗视场微分干涉6孔 | |||||
明暗视场微分干涉中心输出5孔 | |||||
手动式 | - | ||||
载物台 | 行程 | 带内置离合驱动的同轴有手柄 行程：356x284毫米 | 带内置离合驱动的同轴有手柄 透射光照明区域：189毫米x189毫米 带内置离合驱动的同轴右手柄 | ||
观察筒 | 广角视场 | 倒置 | 双目/三目观察筒 | ||
正像 | 三目观察筒 | ||||
超宽视场 | 倒置 | 三目观察筒 | |||
正像 | 倾斜三目观察筒 | ||||
重量 | 64 kg（标准组合） | 50 kg（标准组合） | |||